Nanoscale tilt measurement using a cyclic interferometer with polarization phase stepping and multiple reflections.

Joenathan, C; Naderishahab, T; Bernal, A; Krovetz, A B; Pretheesh Kumar, V C; Ganesan, A R.

Appl Opt ; 57(7): B52-B58, 2018 Mar 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-29521983

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Ano de publicação: 2018 Tipo de documento: Article

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