Estimation of an uncertainty budget and performance measurement for a dual-wavelength Twyman-Green interferometer. | J Microsc;282(3): 224-238, 2021 Jun. | MEDLINE

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Estimation of an uncertainty budget and performance measurement for a dual-wavelength Twyman-Green interferometer.

Ibrahim, Dahi Ghareab Abdelsalam.

Afiliação

Ibrahim DGA; Engineering and Surface Metrology Laboratory, National Institute of Standards, El haram, El Giza, Egypt.

J Microsc ; 282(3): 224-238, 2021 Jun.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-33443302

Palavras-chave

interferometry; metrology; surface measurements; unwrapping phase

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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Tipo de estudo: Health_economic_evaluation Idioma: En Revista: J Microsc Ano de publicação: 2021 Tipo de documento: Article País de afiliação: Egito

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