Bulk micro-defect detection with low-angle illumination.

Szarvas, T; Molnár, G; Nádudvari, Gy; Tóth, Sz; Almásy, O; Spindler, Sz; Erdei, D; Pothorszky, Sz; Kretschmer, R; Bauer, S

Szarvas, T; Molnár, G; Nádudvari, Gy; Tóth, Sz; Almásy, O; Spindler, Sz; Erdei, D; Pothorszky, Sz; Kretschmer, R; Bauer, S.

Afiliação

Szarvas T; Semilab Co. Ltd., Prielle Kornélia u. 4/A, 1117 Budapest, Hungary.
Molnár G; Semilab Co. Ltd., Prielle Kornélia u. 4/A, 1117 Budapest, Hungary.
Nádudvari G; Semilab Co. Ltd., Prielle Kornélia u. 4/A, 1117 Budapest, Hungary.
Tóth S; Semilab Co. Ltd., Prielle Kornélia u. 4/A, 1117 Budapest, Hungary.
Almásy O; Semilab Co. Ltd., Prielle Kornélia u. 4/A, 1117 Budapest, Hungary.
Spindler S; Semilab Co. Ltd., Prielle Kornélia u. 4/A, 1117 Budapest, Hungary.
Erdei D; Semilab Co. Ltd., Prielle Kornélia u. 4/A, 1117 Budapest, Hungary.
Pothorszky S; Semilab Co. Ltd., Prielle Kornélia u. 4/A, 1117 Budapest, Hungary.
Kretschmer R; Siltronic AG, Einsteinstraße 172, 81677 Munich, Germany.
Bauer S; Siltronic AG, Einsteinstraße 172, 81677 Munich, Germany.

Rev Sci Instrum ; 92(4): 043701, 2021 Apr 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-34243430

Texto completo

Imprimir

XML

PubMed Links

Buscar no Google

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Tipo de estudo: Diagnostic_studies Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Ano de publicação: 2021 Tipo de documento: Article País de afiliação: Hungria

Texto completo

Imprimir

XML

PubMed Links

Buscar no Google