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SU-8 cantilever with integrated pyrolyzed glass-like carbon piezoresistor.
Jang, Jongmoon; Panusa, Giulia; Boero, Giovanni; Brugger, Juergen.
Afiliação
  • Jang J; Microsystems Laboratory, École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), 1015 Lausanne, Switzerland.
  • Panusa G; Department of Functional Ceramics, Korea Institute of Materials Science (KIMS), 51508 Changwon, Republic of Korea.
  • Boero G; Optics Laboratory, École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), 1015 Lausanne, Switzerland.
  • Brugger J; Microsystems Laboratory, École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), 1015 Lausanne, Switzerland.
Microsyst Nanoeng ; 8: 22, 2022.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-35223080
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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Microsyst Nanoeng Ano de publicação: 2022 Tipo de documento: Article País de afiliação: Suíça
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