Real-time Observation of Aluminum Chemical Vapor Deposition in an Environmental Scanning Electron Microscope.

Linam DL; Drucker J.

Afiliação

Linam DL; Department of Electrical and Computer Engineering, The University of Texas at El Paso, El Paso, TX 79968

Microsc Microanal ; 4(5): 497-503, 1998 Sep.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-9990872

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Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Microsc Microanal Ano de publicação: 1998 Tipo de documento: Article

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