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Very-high-frequency probes for atomic force microscopy with silicon optomechanics.
Schwab, L; Allain, P E; Mauran, N; Dollat, X; Mazenq, L; Lagrange, D; Gély, M; Hentz, S; Jourdan, G; Favero, I; Legrand, B.
Afiliação
  • Schwab L; Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes, Université de Toulouse, CNRS UPR 8001, 31031 Toulouse, France.
  • Allain PE; Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques, Université de Paris, CNRS UMR 7162, 75013 Paris, France.
  • Mauran N; Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes, Université de Toulouse, CNRS UPR 8001, 31031 Toulouse, France.
  • Dollat X; Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes, Université de Toulouse, CNRS UPR 8001, 31031 Toulouse, France.
  • Mazenq L; Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes, Université de Toulouse, CNRS UPR 8001, 31031 Toulouse, France.
  • Lagrange D; Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes, Université de Toulouse, CNRS UPR 8001, 31031 Toulouse, France.
  • Gély M; Université Grenoble Alpes, CEA, LETI, Minatec Campus, 38000 Grenoble, France.
  • Hentz S; Université Grenoble Alpes, CEA, LETI, Minatec Campus, 38000 Grenoble, France.
  • Jourdan G; Université Grenoble Alpes, CEA, LETI, Minatec Campus, 38000 Grenoble, France.
  • Favero I; Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques, Université de Paris, CNRS UMR 7162, 75013 Paris, France.
  • Legrand B; Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes, Université de Toulouse, CNRS UPR 8001, 31031 Toulouse, France.
Microsyst Nanoeng ; 8: 32, 2022.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-35371536
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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Microsyst Nanoeng Ano de publicação: 2022 Tipo de documento: Article País de afiliação: França
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