Small-displacement sensing system based on multiple total internal reflections in heterodyne interferometry.

Wang, Shinn-Fwu; Chiu, Ming-Hung; Chen, Wei-Wu; Kao, Fu-Hsi; Chang, Rong-Seng.

Afiliação

Wang SF; Department of Electronic Engineering, Ching Yun University, No. 229, Chien-Hsin Road, Jhongli City, Taoyuan 320, Taiwan. sfwang@cyu.edu.tw

Appl Opt ; 48(13): 2566-73, 2009 May 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-19412217

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Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2009 Tipo de documento: Article

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