TEM sample preparation by FIB for carbon nanotube interconnects.

Ke, Xiaoxing; Bals, Sara; Romo Negreira, Ainhoa; Hantschel, Thomas; Bender, Hugo; Van Tendeloo, Gustaaf.

Afiliação

Ke X; EMAT, University of Antwerp, Groenenborgerlaan 171, B-2020 Antwerp, Belgium. xiaoxing.ke@ua.ac.be

Ultramicroscopy ; 109(11): 1353-9, 2009 Oct.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-19665846

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2009 Tipo de documento: Article

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