The fabrication of metal silicide nanodot arrays using localized ion implantation.

Han, Jin; Kim, Tae-Gon; Min, Byung-Kwon; Lee, Sang Jo.

Afiliação

Han J; School of Mechanical Engineering, Yonsei University, Seoul 120-749, Korea.

Nanotechnology ; 21(48): 485303, 2010 Dec 03.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-21063049

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2010 Tipo de documento: Article

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2010 Tipo de documento: Article