Development of roll-to-roll hot embossing system with induction heater for micro fabrication.

Yun, Dongwon; Son, Youngsu; Kyung, Jinho; Park, Heechang; Park, Chanhun; Lee, Sunghee; Kim, Byungin.

Afiliação

Yun D; Robotics and Mechatronics Research Center, KIMM, Daejeon, South Korea. dwyun@kimm.re.kr

Rev Sci Instrum ; 83(1): 015108, 2012 Jan.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-22299987

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2012 Tipo de documento: Article

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