Progress toward an aberration-corrected low energy electron microscope for DNA sequencing and surface analysis.

Mankos, Marian; Shadman, Khashayar; N'diaye, Alpha T; Schmid, Andreas K; Persson, Henrik H J; Davis, Ronald W.

Afiliação

Mankos M; Electron Optica Inc., 1000 Elwell Court #110, Palo Alto, California 94303.

J Vac Sci Technol B Nanotechnol Microelectron ; 30(6): 6F402, 2012 Nov.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-23847748

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2012 Tipo de documento: Article

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