Transverse-flow radio-frequency-excited amplifier seeded by a cavity-dumped CO2 laser for an extreme ultraviolet light source.

Tanino, Yoichi; Nishimae, Junichi; Yamamoto, Tatsuya; Funaoka, Koji; Tamida, Taichiro; Tsuda, Shingo; Fujikawa, Shuichi.

Afiliação

Tanino Y; Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric Corporation, Amagasaki, Hyogo, Japan. Tanino.Yoichi@ap.MitsubishiElectric.co.jp

Opt Lett ; 38(17): 3291-3, 2013 Sep 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-23988937

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2013 Tipo de documento: Article

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