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Non-destructive characterization of extended crystalline defects in confined semiconductor device structures.
Schulze, Andreas; Strakos, Libor; Vystavel, Tomas; Loo, Roger; Pacco, Antoine; Collaert, Nadine; Vandervorst, Wilfried; Caymax, Matty.
Afiliação
  • Schulze A; Imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium. Andreas.Schulze@imec.be.
Nanoscale ; 10(15): 7058-7066, 2018 Apr 19.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-29616259

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2018 Tipo de documento: Article

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