Towards Integrated Mid-Infrared Gas Sensors.

Popa, Daniel; Udrea, Florin.

Afiliação

Popa D; Department of Engineering, University of Cambridge, Cambridge CB3 0FA, UK. dp387@cam.ac.uk.
Udrea F; Department of Engineering, University of Cambridge, Cambridge CB3 0FA, UK. fu10000@cam.ac.uk.

Sensors (Basel) ; 19(9)2019 May 04.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-31060244

Palavras-chave

CMOS; MEMS; gas sensors; integrated sensors; mid-infrared

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2019 Tipo de documento: Article

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