Modifications of ion beam sputtered tantala thin films by secondary argon and oxygen bombardment.

Yang, Le; Randel, Emmett; Vajente, Gabriele; Ananyeva, Alena; Gustafson, Eric; Markosyan, Ashot; Bassiri, Riccardo; Fejer, Martin; Menoni, Carmen.

Appl Opt ; 59(5): A150-A154, 2020 Feb 10.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-32225367

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2020 Tipo de documento: Article

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