Internal Stress Prediction and Measurement of Mid-Infrared Multilayer Thin Films. | Materials (Basel);14(5)2021 Feb 26. | MEDLINE

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Internal Stress Prediction and Measurement of Mid-Infrared Multilayer Thin Films.

Tien, Chuen-Lin; Chen, Kuan-Po; Lin, Hong-Yi.

Afiliação

Tien CL; Department of Electrical Engineering, Feng Chia University, Taichung 40724, Taiwan.
Chen KP; Department of Electrical Engineering, Feng Chia University, Taichung 40724, Taiwan.
Lin HY; Ph. D. Program of Electrical and Communications Engineering, Feng Chia University, Taichung 40724, Taiwan.

Materials (Basel) ; 14(5)2021 Feb 26.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-33652932

Palavras-chave

band-pass filter; interfacial force; internal stress; multilayer thin film

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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2021 Tipo de documento: Article

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