Enhancing parameter design for full-aperture rapid planar polishing based on fuzzy optimization.

Cao, Mingchen; Zhao, Huiying; Xie, Ruiqing; Zhao, Shijie; Zhao, Lingyu; Bai, Jinfeng.

Appl Opt ; 60(17): 5049-5055, 2021 Jun 10.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-34143070

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2021 Tipo de documento: Article

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2021 Tipo de documento: Article