Measurement and compensation of a stitching error in a DMD-based step-stitching photolithography system.

Zhou, Shuang; Lu, Zifeng; Yuan, Qixiang; Wu, Guangkun; Liu, Chunxia; Liu, Hua.

Appl Opt ; 60(29): 9074-9081, 2021 Oct 10.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-34623988

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2021 Tipo de documento: Article

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