Theoretical and experimental investigations on rotary ultrasonic surface micro-machining of brittle materials.
Ultrason Sonochem
; 89: 106162, 2022 Sep.
Article
em En
| MEDLINE
| ID: mdl-36113208
Palavras-chave
Texto completo:
1
Base de dados:
MEDLINE
Assunto principal:
Silício
/
Ultrassom
Idioma:
En
Ano de publicação:
2022
Tipo de documento:
Article