Resolution-enhanced optical inspection system to examine metallic nanostructures using structured illumination.

Yoon, Taerim; Kim, Pil Un; Ahn, Heesang; Kim, Taeyeon; Eom, Tae Joong; Kim, Kyujung; Choi, Jong-Ryul.

Appl Opt ; 61(23): 6819-6826, 2022 Aug 10.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-36255761

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2022 Tipo de documento: Article

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2022 Tipo de documento: Article