Micromachined Thermal Gas Sensors-A Review.

Gardner, Ethan L W; Gardner, Julian W; Udrea, Florin

Gardner, Ethan L W; Gardner, Julian W; Udrea, Florin.

Afiliação

Gardner ELW; Department of Engineering, University of Cambridge, Cambridge CB3 0FA, UK.
Gardner JW; School of Engineering, University of Warwick, Coventry CV4 7AL, UK.
Udrea F; Department of Engineering, University of Cambridge, Cambridge CB3 0FA, UK.

Sensors (Basel) ; 23(2)2023 Jan 06.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-36679476

Assuntos

Eletrônica; Qualidade de Vida; Reprodutibilidade dos Testes; Gases; Indústrias

Palavras-chave

MEMS; gas sensor; micromachined; review; sensor; thermal conductivity

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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Qualidade de Vida / Eletrônica Idioma: En Ano de publicação: 2023 Tipo de documento: Article

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