Mechanical Response of MEMS Suspended Inductors under Shock Using the Transfer Matrix Method.

Zheng, Tianxiang; Xu, Lixin.

Afiliação

Zheng T; School of Mechatronical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China.
Xu L; School of Mechatronical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China.

Micromachines (Basel) ; 14(6)2023 Jun 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-37374772

Palavras-chave

MEMS suspended inductors; dynamic response; shock load; transfer matrix method

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2023 Tipo de documento: Article

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