Vapor-phase self-assembled monolayer for improved mold release in nanoimprint lithography.
Langmuir
; 21(4): 1158-61, 2005 Feb 15.
Article
en En
| MEDLINE
| ID: mdl-15697253
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Colección:
01-internacional
Banco de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Langmuir
Asunto de la revista:
QUIMICA
Año:
2005
Tipo del documento:
Article