Small plasma source for materials application.
Rev Sci Instrum
; 78(8): 086103, 2007 Aug.
Article
en En
| MEDLINE
| ID: mdl-17764363
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Colección:
01-internacional
Banco de datos:
MEDLINE
Asunto principal:
Ensayo de Materiales
/
Microfluídica
/
Gases
/
Calefacción
Tipo de estudio:
Diagnostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Rev Sci Instrum
Año:
2007
Tipo del documento:
Article
País de afiliación:
Rusia