Zeolite-inspired low-k dielectrics overcoming limitations of zeolite films.

Eslava, Salvador; Urrutia, Jone; Busawon, Abheesh N; Baklanov, Mikhail R; Iacopi, Francesca; Aldea, Steliana; Maex, Karen; Martens, Johan A; Kirschhock, Christine E A

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Zeolite-inspired low-k dielectrics overcoming limitations of zeolite films.

Eslava, Salvador; Urrutia, Jone; Busawon, Abheesh N; Baklanov, Mikhail R; Iacopi, Francesca; Aldea, Steliana; Maex, Karen; Martens, Johan A; Kirschhock, Christine E A.

Afiliación

Eslava S; Centrum voor Oppervlaktechemie en Katalyse, Katholieke Universiteit Leuven, Kasteelpark Arenberg 23, 3001 Leuven, Belgium.

J Am Chem Soc ; 130(51): 17528-36, 2008 Dec 24.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-19053487

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: J Am Chem Soc Año: 2008 Tipo del documento: Article País de afiliación: Bélgica

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