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Multiple wavelength reflectance microscopy to study the multiphysical behavior of microelectromechanical systems.
Garraud, N; Fedala, Y; Kanoufi, F; Tessier, G; Roger, J P; Amiot, F.
Afiliación
  • Garraud N; Institut Langevin, ESPCI ParisTech/CNRS-UMR 7587, Paris, France.
Opt Lett ; 36(4): 594-6, 2011 Feb 15.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-21326467
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Opt Lett Año: 2011 Tipo del documento: Article País de afiliación: Francia
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