One-step selective chemistry for silicon-on-insulator sensor geometries. | Langmuir;27(12): 7337-40, 2011 Jun 21. | MEDLINE

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One-step selective chemistry for silicon-on-insulator sensor geometries.

Seitz, Oliver; Fernandes, Poornika G; Mahmud, Gazi A; Wen, Huang-Chun; Stiegler, Harvey J; Chapman, Richard A; Vogel, Eric M; Chabal, Yves J.

Afiliación

Seitz O; University of Texas at Dallas, Richardson, Texas, USA.

Langmuir ; 27(12): 7337-40, 2011 Jun 21.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-21627085

Asunto(s)

Silicio/química; Microscopía de Fuerza Atómica; Espectroscopía Infrarroja por Transformada de Fourier; Análisis Espectral/métodos; Rayos X

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Banco de datos: MEDLINE Asunto principal: Silicio Idioma: En Revista: Langmuir Asunto de la revista: QUIMICA Año: 2011 Tipo del documento: Article País de afiliación: Estados Unidos

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