Effects of multi-layer graphene capping on Cu interconnects. | Nanotechnology;24(11): 115707, 2013 Mar 22. | MEDLINE

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Effects of multi-layer graphene capping on Cu interconnects.

Kang, Chang Goo; Lim, Sung Kwan; Lee, Sangchul; Lee, Sang Kyung; Cho, Chunhum; Lee, Young Gon; Hwang, Hyeon Jun; Kim, Younghun; Choi, Ho Jun; Choe, Sun Hee; Ham, Moon-Ho; Lee, Byoung Hun.

Afiliación

Kang CG; School of Materials Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology, Gwangju 500-712, Korea.

Nanotechnology ; 24(11): 115707, 2013 Mar 22.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-23455515

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Nanotechnology Año: 2013 Tipo del documento: Article

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