Preface: Special Topic on Atomic and Molecular Layer Processing: Deposition, Patterning, and Etching. | J Chem Phys;146(5): 052501, 2017 Feb 07. | MEDLINE

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Preface: Special Topic on Atomic and Molecular Layer Processing: Deposition, Patterning, and Etching.

Engstrom, James R; Kummel, Andrew C.

Afiliación

Engstrom JR; Robert F. Smith School of Chemical and Biomolecular Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA.
Kummel AC; Department of Chemistry and Biochemistry, University of California, 9500 Gilman Dr., La Jolla, San Diego, California 92093, USA.

J Chem Phys ; 146(5): 052501, 2017 Feb 07.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-28178820

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: J Chem Phys Año: 2017 Tipo del documento: Article País de afiliación: Estados Unidos

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