Real-time monitoring and gradient feedback enable accurate trimming of ion-implanted silicon photonic devices.

Chen, Bigeng; Yu, Xingshi; Chen, Xia; Milosevic, Milan M; Thomson, David J; Khokhar, Ali Z; Saito, Shinichi; Muskens, Otto L; Reed, Graham T

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Real-time monitoring and gradient feedback enable accurate trimming of ion-implanted silicon photonic devices.

Chen, Bigeng; Yu, Xingshi; Chen, Xia; Milosevic, Milan M; Thomson, David J; Khokhar, Ali Z; Saito, Shinichi; Muskens, Otto L; Reed, Graham T.

Opt Express ; 26(19): 24953-24963, 2018 Sep 17.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-30469603

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Opt Express Asunto de la revista: OFTALMOLOGIA Año: 2018 Tipo del documento: Article

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