Focused-helium-ion-beam blow forming of nanostructures: radiation damage and nanofabrication.

Kim, Chung-Soo; Hobbs, Richard G; Agarwal, Akshay; Yang, Yang; Manfrinato, Vitor R; Short, Michael P; Li, Ju; Berggren, Karl K

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Focused-helium-ion-beam blow forming of nanostructures: radiation damage and nanofabrication.

Kim, Chung-Soo; Hobbs, Richard G; Agarwal, Akshay; Yang, Yang; Manfrinato, Vitor R; Short, Michael P; Li, Ju; Berggren, Karl K.

Afiliación

Kim CS; Research Laboratory of Electronics, Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, MA, 02139, United States of America.

Nanotechnology ; 31(4): 045302, 2020 Jan 17.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-31578000

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