Optical characterization of the impact of 100 keV protons on the optical properties of ZrO<sub>2</sub> films prepared by ALD on fused silica substrates. | Appl Opt;62(7): B182-B187, 2023 Mar 01. | MEDLINE

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Optical characterization of the impact of 100 keV protons on the optical properties of ZrO₂ films prepared by ALD on fused silica substrates.

Sytchkova, A; Protopapa, M L; Olivero, P; Tapfer, L; Burresi, E; Dunatov, T; Siketic, Z; Palmisano, M; Pesce, E; Wang, Y; Wang, Z; He, H.

Appl Opt ; 62(7): B182-B187, 2023 Mar 01.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-37132905

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Año: 2023 Tipo del documento: Article

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