Scalable CMOS back-end-of-line-compatible AlScN/two-dimensional channel ferroelectric field-effect transistors.
Nat Nanotechnol
; 18(9): 1044-1050, 2023 Sep.
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Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
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MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Nat Nanotechnol
Año:
2023
Tipo del documento:
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País de afiliación:
Estados Unidos