Metal Microelectromechanical Resonator Exhibiting Fast Human Activity Detection.

Torres, Francesc; Uranga, Arantxa; Barniol, Núria

Torres, Francesc; Uranga, Arantxa; Barniol, Núria.

Afiliación

Torres F; Electronic Engineering Department, Universitat Autònoma de Barcelona, Edifici Q, Campus UAB, 08193 Cerdanyola del Valles, Spain.
Uranga A; Electronic Engineering Department, Universitat Autònoma de Barcelona, Edifici Q, Campus UAB, 08193 Cerdanyola del Valles, Spain.
Barniol N; Electronic Engineering Department, Universitat Autònoma de Barcelona, Edifici Q, Campus UAB, 08193 Cerdanyola del Valles, Spain.

Sensors (Basel) ; 23(21)2023 Nov 03.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-37960643

Asunto(s)

Metales; Tecnología; Humanos; Diseño de Equipo; Humedad; Semiconductores

Palabras clave

CMOS; MEMS; humidity sensor; low power; monolithic integration; non-contact detection; resonators

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Banco de datos: MEDLINE Asunto principal: Tecnología / Metales Límite: Humans Idioma: En Revista: Sensors (Basel) Año: 2023 Tipo del documento: Article País de afiliación: España

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