TEM study of locally coated nanopore fabricated by ion-beam-induced deposition in a thin membrane.

Wu, Meng-Yue; Chen, Ping; Ziese, Ulrike; Alkemade, Paul F A; Salemink, Huub W M; Zandbergen, Henny W

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TEM study of locally coated nanopore fabricated by ion-beam-induced deposition in a thin membrane.

Wu, Meng-Yue; Chen, Ping; Ziese, Ulrike; Alkemade, Paul F A; Salemink, Huub W M; Zandbergen, Henny W.

Afiliação

Wu MY; Kavli Institute of Nanoscience, Delft University of Technology, Lorentzweg 1, 2628 CJ Delft, The Netherlands. m.y.wu@tnw.tudelft.nl

Micron ; 41(6): 609-14, 2010 Aug.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-20399671

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