Design and performance of a combined secondary ion mass spectrometry-scanning probe microscopy instrument for high sensitivity and high-resolution elemental three-dimensional analysis.
Rev Sci Instrum
; 83(6): 063702, 2012 Jun.
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em En
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Tipo de estudo:
Diagnostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Rev Sci Instrum
Ano de publicação:
2012
Tipo de documento:
Article
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