Chemical mechanical polishing to improve the efficiency uniformity of beam sampling grating. | Appl Opt;53(6): 1221-7, 2014 Feb 20. | MEDLINE

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Chemical mechanical polishing to improve the efficiency uniformity of beam sampling grating.

Rao, Huanle; Liu, Ying; Liu, Zhengkun; Qiu, Keqiang; Xu, Xiangdong; Hong, Yilin; Fu, Shaojun.

Appl Opt ; 53(6): 1221-7, 2014 Feb 20.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-24663323

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Ano de publicação: 2014 Tipo de documento: Article

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