Efficient ion-slicing of InP thin film for Si-based hetero-integration.

Lin, Jiajie; You, Tiangui; Wang, Mao; Huang, Kai; Zhang, Shibin; Jia, Qi; Zhou, Min; Yu, Wenjie; Zhou, Shengqiang; Wang, Xi; Ou, Xin

Lin, Jiajie; You, Tiangui; Wang, Mao; Huang, Kai; Zhang, Shibin; Jia, Qi; Zhou, Min; Yu, Wenjie; Zhou, Shengqiang; Wang, Xi; Ou, Xin.

Afiliação

Lin J; State Key Laboratory of Functional Materials for Informatics, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, People's Republic of China. University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, People's Republic of China.

Nanotechnology ; 29(50): 504002, 2018 Dec 14.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-30229744

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