Programmable deep-UV laser platform for inspection and metrology. | Opt Lett;44(22): 5618-5621, 2019 Nov 15. | MEDLINE

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Programmable deep-UV laser platform for inspection and metrology.

Miyata, Kentaro; Mohara, Mizuki; Shimura, Kei; Tanabashi, Akihiro; Desbiens, Louis; Roy, Vincent; Taillon, Yves; Nakayama, Shinichi; Wada, Satoshi.

Opt Lett ; 44(22): 5618-5621, 2019 Nov 15.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-31730122

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Opt Lett Ano de publicação: 2019 Tipo de documento: Article

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