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Integrated Piezoelectric AlN Thin Film with SU-8/PDMS Supporting Layer for Flexible Sensor Array.
Yeo, Hong Goo; Jung, Joontaek; Sim, Minkyung; Jang, Jae Eun; Choi, Hongsoo.
Afiliação
  • Yeo HG; Department of Robotics Engineering, DGIST, Daegu 42988, Korea.
  • Jung J; DGIST-ETH Microrobot research center, DGIST, Daegu 42988, Korea.
  • Sim M; Department of Robotics Engineering, DGIST, Daegu 42988, Korea.
  • Jang JE; DGIST-ETH Microrobot research center, DGIST, Daegu 42988, Korea.
  • Choi H; Department of Silicon Components, CEA-Leti, 38054 Grenoble, France.
Sensors (Basel) ; 20(1)2020 Jan 06.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-31935913
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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Sensors (Basel) Ano de publicação: 2020 Tipo de documento: Article
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