A MEMS lens scanner based on serpentine electrothermal bimorph actuators for large axial tuning.
Opt Express
; 28(16): 23439-23453, 2020 Aug 03.
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Idioma:
En
Revista:
Opt Express
Assunto da revista:
OFTALMOLOGIA
Ano de publicação:
2020
Tipo de documento:
Article