Direct Epitaxial Growth of Polar (1 - x)HfO2-(x)ZrO2 Ultrathin Films on Silicon.
ACS Appl Electron Mater
; 1(12): 2585-2593, 2019 Dec 24.
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Idioma:
En
Revista:
ACS Appl Electron Mater
Ano de publicação:
2019
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Holanda