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Noise Improvement of a-Si Microbolometers by the Post-Metal Annealing Process.
Oh, Jaesub; Song, Hyeong-Sub; Park, Jongcheol; Lee, Jong-Kwon.
Afiliação
  • Oh J; Division of Nano Convergence Technology, National NanoFab Center, Daejeon-si 34141, Korea.
  • Song HS; Foundry Business, Samsung Electronics Co., Suwon-si 18448, Korea.
  • Park J; Division of Nano Convergence Technology, National NanoFab Center, Daejeon-si 34141, Korea.
  • Lee JK; Division of Energy and Optical Technology Convergence, Cheongju University, Cheongju-si 28503, Korea.
Sensors (Basel) ; 21(20)2021 Oct 10.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-34695935
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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Sensors (Basel) Ano de publicação: 2021 Tipo de documento: Article
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