Thermal Stability of the Ferroelectric Properties in 100 nm-Thick Al0.72Sc0.28N.
ACS Appl Mater Interfaces
; 15(5): 7030-7043, 2023 Feb 08.
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1
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Idioma:
En
Revista:
ACS Appl Mater Interfaces
Assunto da revista:
BIOTECNOLOGIA
/
ENGENHARIA BIOMEDICA
Ano de publicação:
2023
Tipo de documento:
Article
País de afiliação:
Alemanha