Aberration model of a multibeam scanning microscope for electron beam-induced deposition.

van Bruggen, M J; van Someren, B; Kruit, P.

Afiliación

van Bruggen MJ; Delft University of Technology, The Netherlands. m.j.vanbruggen@tnw.tudelft.nl

Scanning ; 28(1): 42-7, 2006.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-16502625

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Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Scanning Año: 2006 Tipo del documento: Article País de afiliación: Países Bajos

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