TEM-based metrology for HfO2 layers and nanotubes formed in anodic aluminum oxide nanopore structures.

Perez, Israel; Robertson, Erin; Banerjee, Parag; Henn-Lecordier, Laurent; Son, Sang Jun; Lee, Sang Bok; Rubloff, Gary W

Perez, Israel; Robertson, Erin; Banerjee, Parag; Henn-Lecordier, Laurent; Son, Sang Jun; Lee, Sang Bok; Rubloff, Gary W.

Afiliación

Perez I; Department of Materials Science and Engineering and Institute for Systems Research, University of Maryland, 2145 A. V. Williams Building, College Park, MD 20742-3285, USA.

Small ; 4(8): 1223-32, 2008 Aug.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-18623293

Asunto(s)

Óxido de Aluminio/química; Hafnio/química; Microscopía Electrónica de Transmisión; Nanotubos/química; Nanotecnología; Nanotubos/ultraestructura

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Texto completo: 1 Banco de datos: MEDLINE Asunto principal: Nanotubos / Microscopía Electrónica de Transmisión / Óxido de Aluminio / Hafnio Idioma: En Revista: Small Asunto de la revista: ENGENHARIA BIOMEDICA Año: 2008 Tipo del documento: Article País de afiliación: Estados Unidos

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