Finite Element Analysis of Interface Dependence on Nanomechanical Sensing.

Minami, Kosuke; Yoshikawa, Genki

Minami, Kosuke; Yoshikawa, Genki.

Afiliación

Minami K; International Center for Young Scientists (ICYS), National Institute for Materials Science (NIMS), 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, Japan.
Yoshikawa G; Center for Functional Sensor & Actuator (CFSN), National Institute for Materials Science (NIMS), 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, Japan.

Sensors (Basel) ; 20(5)2020 Mar 10.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-32164172

Palabras clave

Membrane-type Surface stress Sensor (MSS); finite element analysis (FEA); interface; nanomechanical sensors; static mode operation

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