X-ray diffractometry and topography of lattice plane curvature in thermally deformed Si wafer. | J Synchrotron Radiat;15(Pt 1): 96-9, 2008 Jan. | MEDLINE

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X-ray diffractometry and topography of lattice plane curvature in thermally deformed Si wafer.

Yi, J M; Chu, Y S; Argunova, T S; Domagala, J Z; Je, J H.

Afiliación

Yi JM; X-ray Imaging Center, POSTECH, Pohang 790-784, Korea.

J Synchrotron Radiat ; 15(Pt 1): 96-9, 2008 Jan.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-18097084

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Bases de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: J Synchrotron Radiat Asunto de la revista: RADIOLOGIA Año: 2008 Tipo del documento: Article

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