Gallium, neon and helium focused ion beam milling of thin films demonstrated for polymeric materials: study of implantation artifacts. | Nanoscale;11(3): 1403-1409, 2019 Jan 17. | MEDLINE

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Gallium, neon and helium focused ion beam milling of thin films demonstrated for polymeric materials: study of implantation artifacts.

Allen, Frances I; Velez, Nathan R; Thayer, Rachel C; Patel, Nipam H; Jones, Mary Ann; Meyers, Gregory F; Minor, Andrew M.

Afiliación

Allen FI; Department of Materials Science and Engineering, UC Berkeley, Berkeley, CA, USA. francesallen@berkeley.edu.

Nanoscale ; 11(3): 1403-1409, 2019 Jan 17.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-30604814

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Texto completo: 1 Bases de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Nanoscale Año: 2019 Tipo del documento: Article País de afiliación: Estados Unidos

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