Coarse-Grained Modeling of EUV Patterning Process Reflecting Photochemical Reactions and Chain Conformations.
Polymers (Basel)
; 15(9)2023 Apr 22.
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| ID: mdl-37177136
Texto completo:
1
Bases de datos:
MEDLINE
Tipo de estudio:
Prognostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Polymers (Basel)
Año:
2023
Tipo del documento:
Article